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膜厚/形状/三次元測定
PDP関連

 

 

 

　　
インラインPDP厚み測定器

非接触・三次元で表面形状計測可能

 

[仕様]

測定原理 顕微共焦点方式
測定範囲 0〜300μm
Z軸分解能 0.01μ
精度 0.1μ
スポット径 5μm
サンプリング周波数 100Hz,300Hz
モニター CCDカメラ

 
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