測定範囲：0.05〜90μm

測定方式：分光干渉方式

測定原理は反射型干渉分光方式を応用しており、非破壊非接触の膜厚測定が可能です。

測定値の出力は画面上に表示され、パソコン上で品種登録やその他の詳細設定が可能であり各種の通信機能を有します。