PDP前面ガラス焼成誘電体、ITO,Mgoの膜厚を測定する装置です。
測定原理は、特別な光学系を使用した分光干渉を応用し、安定な測定を行います。
［仕様］
誘電体
3μm 〜 60μm
ITO
600Å〜 3000Å
Mgo
4000Å 〜 10000Å
光源
自動調光
基板補正
自動レファレンス
測定位置
パソコンによる自動設定
