この装置は光濃度方式を応用した膜厚測定装置です。

次の様な測定対象に対して測定が可能です。

1.カラーフィルター等の有機BM膜

2.プラズマディスプレイなどの誘電体膜

3.マスク基板上のCrO膜の分布測定

4.干渉分光法が適用できない不透明膜等

[特徴]

1.測定時間が短く、インライン測定に最適

2.小型・廉価であるため、多点モニターの使用に最適

3.高性能・高安定

[仕様例]

1.光束：8mmφ

2.ワークディスタンス：100mm（投受光器共）

3.膜厚0校正：毎秒・毎制御信号による自動校正

4.測定時間：500mmsec

5.膜厚値表示：3桁表示

6.迷光：光学的電気的除去

7.環境：なるべく暗所にて測定。直射光下での使用は避ける。

8.コントローラー：1台で3CHまで測定可能