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- 膜厚/形状/三次元測定 -
濃度反射分光装置
光濃度式膜厚計
レジスト・誘電体膜厚計
スペクトロ共焦点測定装置
TAPEフィルム上レジスト膜厚計
三次元表面形状測定装置
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インライン・PDP厚み測定装置
PDP 誘電体/Ito/Mgo 測定装置
PDP リブ・電極 高さ測定装置
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PDP リブ・電極 高さ測定装置
[
摘要
]
TAPE,BGA,CSP上緑色レジスト膜
各種基板上着色レジスト膜
[特長]
インライン測定に最適
小型で、廉価なので多点モニターが可能
高性能、高安定
下地が荒れていても可
2波長測定方式なので長大
(
数100M
)
でも安
定
[仕様]
測定スポット
100mmΦ
ワークディスタンス
15mm
表示
2桁表示(○.○μm)
迷光
光学的電気的除去
環境
なるべく暗所にて測定。直射光下は避ける。
コントローラー
1台で3CHまで測定可
測定範囲
2〜8μm
仕様・価格等、製品の詳細については御問合せ下さい。
info@youi.co.jp
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