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膜厚/形状/三次元測定
PDP関連

 

 

 

　　
スペクトロ共焦点高さ測定装置

 

 

 

色を応用した非接触変位計で高精度、高速度の測定が可能です。このセンサーは塗布膜のような非鏡面にも使用できますので、PDPリブ・バス・アドレスの高さ及び幅の測定が可能です。

[仕様]

測定範囲　 0〜300μｍ
分解能　 0,01μｍ
測定周波数 300Hz
スポット径　 5μｍ
ワークディスタンス 4.5ｍｍ　

アドレス形状

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