• 濃度反射分光装置
• 光濃度式膜厚計
• レジスト・誘電体膜厚計
• スペクトロ共焦点測定装置
• TAPEフィルム上レジスト膜厚計
• 三次元表面形状測定装置

インライン・PDP厚み測定装置

PDP製造ラインの各種測定に対応します。

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PDP 誘電体・Ito/Mgo 測定装置

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PDP リブ・電極 高さ測定装置

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レジスト・誘電体膜厚計

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濃度・反射分光測定装置

製膜の光学濃度と反射膜の分光特性を測定でき、基板内の濃度分布を捕らえられます。

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